参数展示

晶圆级二维材料：参数展示

MoS2

WSe2

二维材料MOCVD沉积系统：参数展示

设备外观

功能

参数

温度

≤ 1100 ± 2℃，多温区任意调控

MO源

标准2路，高精度流量控制

气态源

标准2路，高精度流量控制

腔体压力

≤ 100 kPa，电动蝶阀精准调控

尺寸

晶圆级

设备设计

·均匀气流场
·均匀温度场
·高重复性

全自动电控工艺

  • · 全自动

    全自动运行+可手动可切换

  • · 工艺

    实时记录，可调取，可重复

  • · 安全

    智能互锁、紧急停止，特气泄露监测、报警等